고순도 사불화탄소 CF4
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단가:9~10USD최소 주문량:500 Kilogram수송:Ocean포장:도트 실린더 ISO 실린더지원에 대한 지원:60000 Kilogram/Kilograms per Day이방성 에칭 제어. 공기 또는 산소의 존재뿐만 아니라 다른 할로겐화탄소는 테트라플루오라이드의 제어에 해로울 뿐만 아니라 공정의 우수한 제어를 초래하여 더 나은 치수 및 프로파일을 초래합니다. 더 높은 순도의 Carbonor CF2조건인 불소 자유 라디칼은 일반적으로 CF3의 형태로 존재합니다. RF 플라즈마 프로세스에서. 사불화탄소는 산소와 함께 폴리실리콘, 이산화규소 및 질화규소를 에칭하는 데 사용됩니다. 사불화탄소는 다양한 웨이퍼 에칭에...
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단가:600~800USD최소 주문량:10 Unit수송:Ocean포장:DOT 48.8L 실린더지원에 대한 지원:500 Unit/Units per Day사불화탄소는 최대 2000psig의 압력에서 실린더에 포장된 불연성, 무색, 무취 압축 가스입니다. 사불화탄소는 일반적으로 저온 냉매로 사용됩니다. 또한 전자 미세 가공에 단독으로 사용되거나 실리콘, 이산화규소 및 질화규소용 플라즈마 에칭제로 산소와 함께...
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