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세정, 에칭 가스

고순도 플루오로메탄 CH3F

고순도 디플루오로메탄 CH2F2

고순도 트리플루오로메탄 CHF3

고순도 사불화탄소 CF4

고순도 헥사플루오로에탄 C2F6

고순도 Octafluoropropane C3F8

고순도 옥타플루오로실코부탄 C4F8

고순도 육불화황 SF6

고순도 일산화탄소 CO

고순도 이산화탄소 CO2

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